二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293822281 待售

AXCELIS/FUSION ES3 蚀刻器/asher是一种先进的高级蚀刻设备,具有用于Ultratecxa™和Accubond™晶片的全自动盒带到盒带基板处理系统。FUSION ES3利用其全自动晶圆传输单元实现了极高的产量,同时提供了最高级别的过程可重复性和稳定性。AXCELIS ES3由于其兼容的高通量感受器设计而实现了更高的吞吐量。感应器设计具有上层井的几何形状,并配有RS36和RS46插槽配置的四重奏。这些变量有助于改善整体蚀刻工艺，允许更大的物料去除，并显着减小颗粒尺寸。此外,ES3 蚀刻器/asher还提供了与蚀刻工艺更好的匹配。这种蚀刻速率的均匀性允许更高级别的可重复性和控制。通过使用四个角偏移和八个中场光电传感器监测蚀刻均匀性。这台监视机器创建了对整个蚀刻过程的超精细控制。AXCELIS/FUSION ES3 蚀刻器/asher由专有的过程控制软件提供支持。此软件提供了对众多蚀刻过程的集中控制和数据管理,同时允许多个用户访问共享的过程数据。该平台允许客户创建自己的流程或从其他已建立的流程开发参数，对蚀刻室进行前所未有的修改和调整。FUSION ES3 蚀刻器/asher是出于安全考虑而设计的。它被安置在一个完全封闭的真空环境中，配有检修门和一个可移动的排气口。密封工具旨在防止任何危险副产品意外从蚀刻过程中释放，并保护工人和设备免受有害气体或材料的侵害。总体而言，AXCELIS ES3 蚀刻器/asher是一种先进的高通量半导体蚀刻和灰化资产。其敏感器设计直观且符合人体工程学，允许在蚀刻过程中更大的重复性和控制。它具有广泛的工艺支持、安全特性和方便的操作控制模型，为用户寻找可靠、高效的蚀刻设备提供了绝佳的选择。