二手 AXCELIS / FUSION ES3i #293802266 待售

AXCELIS/FUSION ES3i是一种高通量、双光束蚀刻器/asher设备,在半导体制造业中提供可靠、可重复的结果。它能够蚀刻和灰化硅、化合物和非硅基材料。它使用感应耦合等离子体（ICP）源提供了一个非常狭窄且很深的蚀刻，也有快速去除抗蚀层和钝化层的抗蚀带模式。FUSION ES3i具有双光束结构,可同时在同一腔室中蚀刻和粉刷两个晶片,从而提高吞吐量。它采用了射频等离子体源、源功率斜坡和预测离子能量控制器单元，从而消除了端点检测的需要，并确保了一致的高重复性和准确性。机器使用了复杂的用户界面，支持智能技术优化流程的每一步，以及将输出数据集成到主机工具控制器中。AXCELIS ES3i是一个可扩展的平台，提供了很高的过程灵活性，并支持多晶片蚀刻和灰度配方。例如，它可以配置为在单个工艺室内使用不同的气体，用加热和冷却的PECVD处理晶片，或者在第一个晶片完成时自动在两个晶片之间切换。它还具有用于监测关键工艺参数的高精度端点检测资产,以及一系列预防性维护选项,包括过压、过温和真空保护丢失。此外,ES3i还提供高级数据管理选项,使用户能够监视、审阅和报告流程结果。它旨在提供实时反馈,在流程发生偏差时提供自动报警,并能够存储多达30种配方以供将来使用。最后但并非最不重要的是，它配备了98%的洁净室设计，减少了颗粒污染，以及气体连接专用端口，简化了设置、维护和性能优化。