二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187636 待售

AXCELIS/FUSION G03 蚀刻器/asher是一种高端的工业精密蚀刻和灰化设备,专为从研究到制造的广泛应用而设计。该系统旨在为高质量、高精度产品的制造提供高精度和重复性。FUSION G03是一个功能齐全的单元,具有灵活性和多重处理功能,可以满足许多不同应用程序的需求。AXCELIS G03旨在提供高精度和重复性。该机由精密真空室和精密运动控制工具以及真空泵组成。这样可以确保重复、一致的蚀刻和灰化结果。G03还配备了气体沉积源，以进一步加强蚀刻工艺。AXCELIS/FUSION G03通过用户友好界面进行控制,该界面可以设置参数、监控蚀刻/灰度时间并提供实时反馈。FUSION G03精密室的设计旨在减少样品污染，并在整个蚀刻和灰化过程中保持稳定的底压。FUSION专有EtchFlux™功能允许以非常精细的步骤蚀刻复杂几何形状,而不会增加气体消耗或加热器功率。这样可以更好地控制蚀刻和灰化结果。AXCELIS G03还提供多种流程功能。它与多种蚀刻和灰化气体兼容，包括腐蚀性、稀有和危险性气体，用于广泛的材料蚀刻应用。此外，它的高灵敏度温度控制允许非常高的可重复性，最小化蚀刻错误的机会。尽管具有工业层面的能力，G03也是直观和用户友好的。根据应用程序的不同,它可以用作从毫米到数百毫米的样本量。它还配备了功能强大的诊断软件包,可帮助快速识别问题并及时备份和运行资产。总体而言,AXCELIS/FUSION G03是一款高级蚀刻器/asher,具有高精度、重复性和灵活性。它是高精度蚀刻和灰化工艺的理想选择，适用于工业和研究应用。