二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187639 待售

AXCELIS/FUSION G03是一种由高科技部件组成的等离子体蚀刻器和灰化器,旨在提供精密蚀刻和灰化技术。这是一台小巧但用途广泛的机器,它将蚀刻和灰化功能结合到一个高性能的单套件中。FUSION G03非常适合解决多种行业和领域中多种材料工艺具有挑战性的蚀刻和灰化需求。AXCELIS G03具有许多高级功能,包括一个强大的离子源和一个磁点燃的电弧,允许从低电平到高电平的可扩展功率密度。这提供了更大的工艺灵活性,可满足多种材料表面的所有蚀刻需求。其先进的线性离子源设计也使得更均匀可控的蚀刻具有改进的化学分布，以达到最佳的蚀刻效果。该设备具有快速蚀刻速率,在生产运行中速度高达30 nm/min。G03配备了独特的两区工艺室，即使在大型生产运行中也能确保出色的蚀刻均匀性。它的模块化设计使得维护和操作更加容易。湿度传感器系统有助于防止污染，对流冷却系统有助于控制过程温度。该设备还与各种监控和诊断系统集成在一起，为用户提供了对蚀刻过程的深入了解。AXCELIS/FUSION G03可以手动或自动模式操作,同时支持远程监视和控制功能。它配备了最新的处理技术，包括实时监控蚀刻端点的自动端点传感算法。设备还维护一个可以下载的蚀刻结果日志,以提供有关该过程的详细信息。其用户友好的功能,包括直观的UI和集成的触摸屏显示屏,使FUSION G03适合技术专长较少的员工。它的安全功能包括一个可移动的钥匙，用于防止未经授权的进程启动。该装置还建有一个坚固的保护外壳，保护它免受灰尘和其他颗粒。总体而言,AXCELIS G03是一款非常可靠、高性能的等离子体蚀刻器,旨在满足各个行业和领域的需求。其创新的设计提供了广泛的流程功能,实现了可重复、可靠的结果。