二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187640 待售

AXCELIS/FUSION G03是一款高级蚀刻器和asher,旨在满足当今先进半导体生产的需求。它是一种多站、多阶段的工艺工具，允许用户蚀刻、粉碎和退火各种材料，以产生精密的图桉，具有极好的精度和重复性。FUSION G03具有坚固的结构和可靠的自动化设备,非常适合生产各种复杂组件。AXCELIS G03有一个300毫米全过程腔室,它在单个固态单元中结合了蚀刻、灰化和退火操作。这确保了一致的过程环境,即使对于复杂的设计和复杂的制造过程失败也是如此。它有一个非常通用和强大的自动化系统，对压力、流量、温度和气体溷合物等过程参数进行精确、实时的控制。G03利用各种蚀刻和粉刷配方精细控制蚀刻过程，保证所有零件的形状准确，满足严格的设计要求。该机器是一个全场电容耦合蚀刻器和asher，包括一个功能集，它可以处理广泛的材料和过程。轴向和径向各向异性被内置到单元中，允许对单尾和过度切割的临界尺寸进行严格控制。AXCELIS/FUSION先进的安全特性G03随时保证操作员安全，是高风险地区生产的绝佳选择。综合安全机器设有温度监测、冷却水系统和紧急关闭程序。此外，该机器的设计符合最严格的安全规定，为操作员提供安全的工作环境。FUSION G03是一种高效、可靠、可重复的蚀刻器和asher。它是生产各种复杂元件的绝佳选择,其可靠的自动化工具确保了生产过程的平稳和快速。其坚固的结构和集成的安全系统使其非常适合在当今要求苛刻的半导体生产环境中使用。