二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187678 待售

AXCELIS/FUSION G03是为生产半导体器件而设计的高性能、中型蚀刻器/asher,效果优异。该设备提供最大的流程灵活性和快速运行时间,并提供高级控制和监控系统,以确保最高级别的质量和响应能力。这款蚀刻器/asher在含有两种电介质的蚀刻单元中使用氯基化学，可以很容易地针对所需的结果进行优化。FUSION G03提供高级控制组件,其中包括多级工艺监控机和中室晶圆温度测量。该工具还具有强大的精确清洁资产,包括专用清洁室和环境管理模型（EMS）。这允许用户控制清洁过程以获得最佳蚀刻结果。AXCELIS G03还提供了先进的腔室几何形状,以实现高长宽比。它还提供了一个独特的旋转晶片支架，以确保高度均匀的蚀刻，和一个均匀的加热选项，以保持均匀的热条件。此外,该设备的软件包还具有用于过程控制、批处理顺序管理、配方管理等的各种模块。G03具有许多特点，使其成为生产各种半导体器件的理想选择。该系统与大多数常见的光刻胶兼容，具有宽敞的气流能力，具有多种气体计量配置，能够精确调整蚀刻工艺。此外，该装置还提供许多安全功能，包括一个安全的门联锁机和多个安全传感器，以确保安全的工作环境。AXCELIS/FUSION G03是一种可靠、高效的蚀刻器/asher工具,可确保卓越的工作效率和优异的效果。其先进的控制元件、腔室几何形状和独特的旋转晶片支架使其成为任何半导体生产环境的绝佳选择。