二手 AXCELIS / FUSION G03 #9261537 待售

AXCELIS/FUSION G03是芯片制造行业中为高通量生产而设计的最先进的蚀刻器/asher设备。该系统设计有一个坚固的机器人处理单元，可以执行各种过程，从多晶硅的深蚀刻到氮化物层的浅蚀刻。机器具有多室配置，允许它以单一序列进行多次蚀刻过程，循环时间为30到4分钟，具体取决于配方。FUSION G03的核心是其Advanced Mode Synchronized Etch （AMS-E）架构，利用使用智能32位控制器运行软件的高级计算机控制蚀刻室优化蚀刻配置文件。它具有多个等离子体源,对每个腔室的射频频率、等离子体气体化学和压力进行独立控制,从而为各种材料提供优化的蚀刻条件。此外，该工具还设计了一套配方监测、晶圆跟踪和腔室清洁系统，以确保工艺的一致性和生产质量。特别是,内置的自动化流程控制（APC）资产通过自动晶圆级流程调整监控实时流程,以提高配方的准确性,并减少在生产过程中手动调整配方的需求。该模型还配备了集成视觉设备和高分辨率摄像头，能够在蚀刻后对晶片进行完全成像，从而实现晶片级工艺验证和缺陷查找能力。通过TeraScan WFS190可以通过多个探测器监测传入晶圆来检测系统中的粒子水平,从而进一步增强了其检查能力。总体而言,AXCELIS G03配备了多种业界领先的功能和技术,以确保高效、可靠和高产的芯片生产。它提供了快速的蚀刻速率、卓越的配方精度、工艺一致性、工艺优化和晶片级分析,使芯片制造商能够最大限度地提高成本效益并增强其竞争优势。