二手 AXCELIS / FUSION G03 #9261541 待售

AXCELIS/FUSION G03是一种用于半导体工业的高性能电化学蚀刻/等离子体灰化设备。它专为半导体工业中晶圆级和模具级器件的生产而设计。FUSION G03提供了在半导体表面上蚀刻高密度、高精度和高性能特征所需的终极精度和控制。AXCELIS G03是一个高度灵活的系统,在许多不同半导体工艺的成本、灵活性、兼容性和生产率方面具有多种优势。它设计用于多层光刻防蚀剂掩蔽和图案设计，并为负片和正片的快速光刻提供选择。G03内置了可变功率设置,允许精确的蚀刻深度,并且可以针对不同的电阻率进行调整,而RF偏置功率可确保从低电阻率到高电阻率完全蚀刻所有类型的材料。AXCELIS/FUSION G03的设计目的是提供均匀、高质量的蚀刻和灰化效果,从而获得高产量和卓越的吞吐量。其操作由高性能控制单元控制，其蚀刻工艺可针对不同晶圆和模具尺寸进行调整。FUSION G03配备了用于精密蚀刻的电子可调振荡器、用于增强可控性的多种内外气体分配系统，以及便于操作和监控的精密用户界面。它还提供了多种精密蚀刻配置，包括多层蚀刻和多重掩模策略。AXCELIS G03具有广泛的安全功能,如自动关机、紧急停止开关、强制通风以及其他旨在保护操作员免受潜在危害的功能。它还包括一个预配置的DMA调度程序和一个用于高效蚀刻操作的内置报警机。总体而言,G03是一种可靠可靠的蚀刻/等离子体灰化工具,可确保精密蚀刻、快速处理和卓越的生产效率。它旨在保持各种基材的高质量蚀刻型材，满足半导体行业的所有要求。