二手 AXCELIS / FUSION Gemini GES #293654522 待售

AXCELIS Gemini GES是一款专为深亚微米半导体加工而设计的尖端蚀刻器/asher。它提供了前所未有的蚀刻和灰化各种材料基板的能力，包括硅、​​、磷化铵（InP）、砷化​​铵（GaAs）和钛-硅氧化硝化物（TiSiOX）。Gemini GES是一种高度通用的设备,支持从1xnm到90nm的全套应用程序。AXCELIS Gemini GES基于动态双室平行板架构，提供出色的温度和气体分布稳定性，以及次埃精密控制。它的两个独立腔室允许高密度等离子体蚀刻和高分辨率粒子束灰化。该系统能够处理直径不超过12英寸的晶片,并具有获得专利的高通量传输机制,可最大限度地提高生产率。Gemini GES还配备了一个强大的安全装置，可最大限度地提高操作员的安全性和环境合规性。它配备了智能清洁和零脸开源系统等功能，以及对操作员接触有害物质的持续监控。AXCELIS Gemini GES旨在满足生产和研发部门的需求，具有出色的工艺重复性和吞吐量。机器使用自动化的工艺配方生成器和直观的显示屏，引导用户完成蚀刻和灰化过程。在硬件方面，该工具能够执行广泛的过程，包括蚀刻、蚀刻条和除湿。它装有多个等离子体蚀刻和灰化室，以及加工气体和蚀刻剂/剥离器输送系统，可实现广泛的应用。Gemini GES还具有功能强大的软件套件,称为Process Agent。该软件提供高级控制功能，如晶圆阵列、线缘粗糙度测量和过程反馈。集成的数据记录器和专家资产提供快速反馈和数据管理工具,以监测流程趋势。先进的无接触腔室模型确保了精确和可重复的等离子体覆盖，而一个集成的粒子注入腔室提供了对抵抗带方向和精度的精确控制。AXCELIS Gemini GES是市场领先的蚀刻器/asher,在半导体加工方面提供无与伦比的性能、效率和可靠性。它是现代晶圆制造的重要工具，提供了影响未来设计的能力。