二手 AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340 待售

AXCELIS/FUSION Gemini GPL是一款特别为半导体行业服务的超高生产力蚀刻器/asher。凭借其精确的功能丰富的设计，为半导体加工提供了无与伦比的性能。蚀刻器/asher在多种材料上创建精确的图像，如多晶硅、金属、SiO2膜、多晶硅膜和其他高介电膜。即使在最窄的特征尺寸上,它也能达到很高的精度。因此，它可以在具有挑战性的加工点上以极高的精度生产高产量、高密度的器件。FUSION Gemini GPL附有许多先进的特性，使其成为大容量设备生产的理想选择，例如脉冲镀层、前向和反向溅射、无片状充电，以及提高均匀性。它还能实现多种蚀刻工艺，如湿法或干法蚀刻和离子束蚀刻，同时保持绝对的操作精度和均匀性。AXCELIS Gemini GPL非常容易集成到现有的生产系统以及设置和使用中,使其成为满足您所有设备制造需求的绝佳选择。其集成的边缘轮廓工具可确保各个字段的均匀性,而动态轮廓器则可确保设备之间精确的轮廓相等。双子座GPL最有价值的特性之一就是它的动态等离子体生成和均匀性控制，它使用两个独立的射频电源，让你比以往任何时候都能达到更高的等离子体水平和更高的均匀性。此外，动态离子束技术能够在整个基板上实现均匀性是机器的另一大优势。为了达到极致的工作效率,蚀刻器/asher包括高级自动化功能和网络功能,可实现高效的作业调度和跟踪。它甚至可以同时运行多个程序，如生产调度、缺陷监控和数据收集。此外,它的用户友好、快速和直观的用户界面允许操作员轻松调整、调整参数、快速监控作业以及跟踪缺陷和生成数据,以确保最佳的过程控制。AXCELIS/FUSION Gemini GPL是一款革命性的蚀刻器/asher，为高通量半导体制造提供卓越的精度、卓越的工艺控制和极致的生产率。它具有先进的特点和直观的界面，是半导体蚀刻/灰化的绝佳选择。