二手 AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582 待售

AXCELIS/FUSION Gemini GPS是一款最先进的蚀刻/灰化机，专为生产高精度、高纵横比的微电子结构而设计。该工具的一个重要特点是其高蚀刻和灰化分辨率：其均匀的线性蚀刻速率和20微米的结构特征尺寸证明了这一点。FUSION Gemini GPS是先进制造具有高度复杂3-D结构的晶片的理想选择。AXCELIS GEMINI GPS配备了两个独立的腔室，每个腔室都设有一个独立的8轴机器人，用于精确的晶圆定位和操纵。这种多轴向移动晶片的能力允许可重复定位,从而允许全自动进程运行。此外,多轴运动允许使用多种处理配方,并允许使用诸如倾斜的景观图样等高级技术。AXCELIS/FUSION GEMINI GPS由高性能处理电子封装驱动。它具有可变的可编程RF/DC电源输出、最多8轴的全运动控制以及32个用于机器I/O控制的数字输入和输出。所有这些功能都允许精确的过程控制,转化为更高的产量和可预测的性能。FUSION GEMINI GPS有几个先进的功能来提高其工艺质量。集成的多视觉系统允许自动晶圆对准和检查,从而确保准确的过程结果。此外，该机采用先进的高精度射频功率控制和直接驱动交流阀进行动态气流调节，为工艺环境提供了准确的控制。总之，GEMINI GPS是一种强大可靠的蚀刻/灰分机，专为生产高精度、高纵横比的微电子结构而设计。其多轴运动、可变RF/DC电源、多视觉、精密的气体控制允许先进、高产的处理。是先进微电子织物的理想解决方桉。