二手 AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508 待售

AXCELIS/FUSION Gemini PCU，常被称为FUSION Gemini PCU，是一种利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）沉积和蚀刻多种材料的蚀刻和灰化工具。AXCELIS Gemini PCU允许在各种基板上进行高精度蚀刻和灰化。它是半导体工业中蚀刻和灰化的首选，因为它具有很高的分辨率和可重复性。双子座PCU利用低电压、高功率的射频能量在低压环境下产生几百瓦的功率。这种环境用于促进蚀刻过程中一层材料的沉积。然后通过将材料通过另一个装有等离子体的腔室完成蚀刻过程，在该腔室中对材料进行轰击和蚀刻。这个腔室产生的等离子体由几个传感器和其他电子元件监测和控制。蚀刻过程分为两个阶段：初始蚀刻和后蚀刻。初始蚀刻使用偏置电压蚀刻掉PECVD沉积的材料层。这种材料的蚀刻形状由蚀刻在基板上的图桉决定。后蚀刻过程使用更高功率的离子束，进一步将图样的形状蚀刻到基板中。这是通过使用制造商开发的校准蚀刻策略来实现的。AXCELIS/FUSION Gemini PCU能够蚀刻和粉刷铜、铝、锡、钨、玻璃、硅等多种材料。这使得它成为涉及复杂蚀刻模式和灰度要求的应用程序的绝佳选择。它也是高度可重复的，意味着任何给定的基板都会每次保持相同的蚀刻和灰化结果。FUSION Gemini PCU被认为是可靠而强大的蚀刻和灰化工具。它能够产生高质量、精确和可重复的结果，使其成为半导体行业蚀刻和灰化的理想选择。它的精确度和可重复性也使得它适用于需要蚀刻和灰化的各种其他应用。