二手 AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809 待售

AXCELIS/FUSION Gemini Polo是一款紧凑、高通量的蚀刻/asher设备，专为半导体行业的精密应用而设计。它配备了简单直观的用户界面，允许高效、方便的操作。该系统包括自动化、高精度的轴级,提供卓越的精度和可重复性。FUSION Gemini Polo是基材加工的理想选择，具有先进的蚀刻和灰化能力。AXCELIS Gemini Polo有一个简单、节省空间的设计，非常适合空间有限的实验室。它包括一个板载二次电子成像（SEM）单元，用于实时过程监测和控制。机器还包含一个智能自动调谐功能，使它能够分析和调谐配方以获得最佳结果。Gemini Polo有一个大型的基于Web的监控工具界面，使得从外部来源控制和监控处理变得容易。强大的蚀刻/asher利用了HiDef等离子体资产，它提供了卓越的均匀性、精确度和可重复性。大型加工室提供250至800mm的腔室尺寸，适合广泛的工艺应用。AXCELIS/FUSION Gemini Polo也使用了自动压力控制模型，确保了在所有压力级别的最佳性能和可重复性。FUSION Gemini Polo具有很高的吞吐量、准确性和可靠性,是晶圆加工应用的理想解决方桉,需要更高的蚀刻/灰度精度。设备与强大的硬件和高级软件工具的兼容性提供了根据特定要求安排和执行流程的灵活性。用户友好的界面和易于使用的配方编辑器使AXCELIS Gemini Polo成为繁忙实验室的理想蚀刻/asher。