二手 AXCELIS / FUSION Gemini #293767155 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AXCELIS/FUSION Gemini是FUSION公司的专用蚀刻/灰化工具。它旨在为用户提供高生产率和精确度的蚀刻和灰化工艺。该系统具有均匀的光束点重迭、最小的非蚀刻污染和可重复的过程控制。FUSION Gemini的製程室设计为可容纳多种基材尺寸和材料，并提供了一个较大的製程区域。AXCELIS Gemini在蚀刻和灰化过程中利用了两种截然不同的技术，实现了高选择性、改进了轮廓控制和高化学产量。第一种技术是离子源，一种粒子高度均匀的离子束。这提高了蚀刻工艺的效率,并且产生的蚀刻轮廓比其他蚀刻系统精确得多。第二项技术是脉冲电子束，一种利用高能电子在目标周围产生强大电场的技术。这场加速了离子并增加了它们的速度，允许更精确和详细的蚀刻。为了获得最佳性能和可靠性,Gemini内置了几个复杂的安全功能。其溅射技术提供了可控的蚀刻速率、光束均匀性、高选择性和可重复的工艺结果，即使对于蚀刻选择性最小的材料也是如此。内置温度控制系统可防止热漂移,防止特定蚀刻特征受到影响。AXCELIS/FUSION Gemini的软件控制器使操作员能够实时访问气体、压力水平、射频功率、电平热水平以及其他重要的工艺参数。最后，FUSION Gemini兼容了几种硬件和软件解决方桉，使其能够集成到任何现有的生产或实验室工作流程中。这使操作员能够准确、精确地控制蚀刻过程，并增加了即时修改参数的能力。AXCELIS Gemini是一款功能强大、可靠的工具，是在半导体、MEMS和RF/微波领域实现工艺的理想选择。
还没有评论