二手 AXCELIS / FUSION GPS #9226279 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9226279
晶圆大小: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8"
With 3-Axis robot
Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPS是一个先进的蚀刻和asher平台,为过程集成和生产提供卓越的过程控制、可重复性和生产率。它包括一整套软件、硬件和消耗性产品,使用户能够为各种应用程序创建高精度、高度可重现的流程。FUSION GPS平台具有功能强大的控制模块以及一系列软件和硬件组件，使其适合一系列流程配置。该软件设计为高度灵活和用户友好,使用户能够快速高效地对系统进行编程和控制。该系统可与各种蚀刻化学和介质结合使用，非常适合集成加工、生产和接触光刻应用。AXCELIS GPS平台的硬件部件由电子束源、光学单元、晶圆级和离子源组成。电子束源产生高能束，用于选择性地蚀刻半导体材料上的特征。光学单元使高能光束能够正确聚焦，并配有快门控制等功能，旨在优化蚀刻工艺。晶片级使晶片能够旋转和移动，以确保所有特征的统一处理。最后，用离子源将离子植入目标底物，进一步增强蚀刻过程。GPS平台配备了一系列旨在保护人员和设施的安全功能。这些功能包括高分辨率平板显示器和高级安全联锁,用于检测处理过程中可能发生的压力、真空和温度变化,并在发生不安全事件时向操作员发出警报。此外,该平台还包括一个集成的冷冻系统,旨在保持加工环境的凉爽和清洁。最后,AXCELIS/FUSION GPS平台包括一系列可消耗部件和材料,以确保在每一个应用程序中都能取得有希望的结果。从消耗性口罩到样品支架、电缆等,平台可确保每个蚀刻和灰化过程的可靠和一致的性能。随着时间的推移,该平台产生了优越且可重复的过程结果。
还没有评论