二手 AXCELIS / FUSION Integra #9201835 待售

AXCELIS/FUSION Integra是一款高度先进的蚀刻和灰化设备，设计用于半导体制造业的大批量加工。这个先进的系统结合了等离子体蚀刻和熔炉粉刷的灵活性，允许在一个单元中具有多种功能。该机器可靠性高，效率高，易于满足最复杂的半导体制造工艺的需求。FUSION Integra能够处理各种晶圆尺寸，擅长同时执行多达6次蚀刻和4次灰化操作。该工具采用50英寸（1270毫米）ICP源和多区隔离室构成，可在长时间的过程中提供稳定的操作。它具有高达75晶片每小时的蚀刻过程和高达25晶片每小时的灰化的高吞吐量能力。该资产还采用了双冷却器冷却模型,以提高性能和可靠性,并配备了精密的速度生成的惰性气体输送设备,以确保在整个过程中保持一致的气体压力。AXCELIS Integra具有直观、用户友好的界面,能够存储多达50种食谱,方便快速访问。该系统还拥有一个功能强大且高效的控制单元，带有经过调整的PID算法，提供灵活、准确、可重复的过程控制。该机还设有一个精密清洁站，以方便和有效地清洁工序之间的刀具部件。为确保人员安全，Integra拥有多项内置的安全功能。资产配有联锁装置，以防止进程意外启动或关闭，火焰检测系统以确保安全、操作和紧急关闭能力。总体而言，AXCELIS/FUSION Integra是一个高级模型，非常适合蚀刻、反应性离子蚀刻和灰化工艺。该设备提供了可靠、高效、易于使用的解决方桉，不仅满足，而且超过了要求最苛刻的半导体加工要求。