二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805 待售
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ID: 9201805
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Single chamber asher
2001 vintage
Power:
208VAC
3 Phase
50 / 60 HZ
Installed in wafer fab
Fully operational
Manuals (CD) available with tool
Asher component details
Mainframe:
Type Standalone
Model Matrix Bobcat 209S asher
Chamber:
How Many? 1
Type RIE
Process ASH
Load locks / Load plate:
Open cassette or SMI Open cassette
How Many? 1
Robot:
How Many? 1
Method of Transport Transfer Unit
Make / Models: Rorze, RR701
RF Generators:
How Many? 2
Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw
Gas box:
Gases used per chamber: 3
Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none)
MFC’s used (Make /Model): MKS
Control system:
PC or Control Rack? PC
Software ype and Version: Windows nt.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是为生产微处理器和DRAM等集成电路而设计的蚀刻器/asher。FUSION Bobcat 209S非常可靠、准确、高效,在蚀刻或粉刷应用程序时提供出色的性能。它能够加工直径达8英寸的基板，提供单面和双面工艺。这些系统的电气元件设计为在200V的标称电压下运行,最多可处理600V,从而对蚀刻和灰化过程进行更大的控制。该系统还具有一个专利的旋转门室，允许快速和容易的基板装卸。秋千门还有助于在整个过程中保持一致的温度，减少对基板温度变化的暴露。MATRIX山猫209S还提供独特的集成计算机显示器VGA/摄像机。这允许用户目视检查每个基板以监视过程一致性。自动端点检测系统还监视过程条件,以确保蚀刻和灰化过程正确结束。此外，AXCELIS山猫209S具有射频能力，并具有改进密度、均匀性和蚀刻速率稳定性的温度控制平台。它还具有质量流控制器，在整个过程中提供精确的轴向沉积控制。该系统还支持多个配方程序，允许用户对蚀刻和ashing配方进行编程，并存储配方以供将来参考。山猫209S专为最大的能力和效率而设计,允许在短时间内进行精确、高质量的蚀刻和灰化过程。它非常适合寻求提高性能和提高生产速度的制造商。对于那些寻求可靠的蚀刻器/灰度以满足其集成电路需求的用户来说,它是可靠和方便的。
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