二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816 待售
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ID: 9201816
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Single chamber asher, 8"
2001 vintage
Power:
208VAC
3 Phase
50 / 60 HZ
Installed in wafer fab
Fully operational
Manuals (CD) available with tool
Asher component details
Mainframe:
Type Standalone
Model Matrix Bobcat 209S asher
Chamber:
How Many? 1
Type RIE
Process ASH
Load locks / Load plate:
Open cassette or SMI Open cassette
How Many? 1
Robot:
How Many? 1
Method of Transport Transfer Unit
Make / Models: Rorze, RR701
RF Generators:
How Many? 2
Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw
Gas box:
Gases used per chamber: 3
Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none)
MFC’s used (Make /Model): MKS
Control system:
PC or Control Rack? PC
Software ype and Version: Windows nt.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是专门为高级化学机械平面化（CMP）应用而设计的蚀刻器/asher。它利用计算机控制的旋转压板在蚀刻或灰化过程中使晶片穿过加工室，提供高通量和出色的工艺控制。这种CMP设备提供了一种有效的工具，可以精确地从晶圆表面去除材料。FUSION山猫209S为CMP流程提供了高度自动化。其特点包括先进的工艺控制器、基板和流体输送系统中的压力传感器，以调节每个工艺步骤的浆料供应、排气压力、温度和压力控制以及自动化工艺冲洗和晶圆清洗周期。MATRIX Bobcat 209S还配备了VDIL（视觉定向惰性蚀刻）功能，使其无需操作员干预即可处理多个批量。该单元还允许使用可选的DPM（衍射反射）传感器进行精确的过程控制。此外,AXCELIS Bobcat 209S还提供各种工艺支持工具,例如温度和压力配置文件、晶圆清洁配置文件和工艺配方。为确保提高流程可重复性和可靠性,Bobcat 209S采用了与配方管理软件系统兼容的软件。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是一种灵活的CMP机器；因此，它支持多种CMP工艺，包括蚀刻回、化学机械抛光（CMP）、气体和化学蚀刻以及灰化。它能够容纳直径达200毫米的晶片。安全方面，FUSION山猫209S符合CE和CSA安全标准。由于其可靠的设计和安全标准,MATRIX Bobcat 209S提供了最大的吞吐量和高效的VDIL性能。此外，它的成本效益、易于维护和广泛的工艺选择使得它成为先进的半导体制造和CMP应用的理想选择。
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