二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672 待售

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat是一款高性能、先进技术的蚀刻器和asher,能够在各种不同的基板中产生高精度、复杂的3维特征。FUSION山猫利用先进的ICP-RIE（感应耦合等离子体反应性离子蚀刻）和O3-SE（臭氧支持蚀刻）蚀刻工艺相结合，在芯片、金属和复合材料等基材中实现精确、高分辨率的图样清晰度。MATRIX山猫蚀刻系统由三个独立的室组成，每个室都有自己的一套功能。第一室是涂层机器人，负责将晶片自动连接到适当的涂层上。第二个腔室是asher，利用深紫外线（UV）光精确暴露目标材料。第三室是蚀刻器，利用ICP-RIE或O3-SE蚀刻工艺对材料进行精确蚀刻。三个山猫室中的每一个都配备了广泛的可调参数，允许精确控制AXCELIS山猫的蚀刻和灰化工艺。这些参数范围从微波源的功率水平、蚀刻/灰化气体的流速、气体成分、蚀刻/灰化持续时间、施加到电极上的电压以及压板温度。每个参数都可以独立调整，以达到每个蚀刻作业的最高精度和质量。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat还配备了先进的数据处理系统，允许用户对其所有蚀刻和灰化过程进行编程和监控。该软件允许用户存储和比较蚀刻结果，修改参数，并根据需要进行即时更改。该系统确保整个蚀刻过程以可重复和受控的方式进行。总体而言,FUSION Bobcat是当今市场上最先进的蚀刻器和蚀刻器之一,具有一系列可调特性,非常适合高精度和高质量的蚀刻和蚀刻。MATRIX Bobcat非常适合制造先进的电子元件和基板，或者为专门的应用创建复杂的3维结构。