二手 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200 待售

AXCELIS/FUSION MTL-200A是由FUSION Technologies Inc.设计制造的先进等离子体蚀刻器/Asher,它使半导体工业能够精密、精密地处理复杂、细腻的结构。这一最新型号FUSION MTL-200A设计用于广泛的过程,包括蚀刻、灰泥、掺杂剂植入以及其他晶圆表面处理和修改。AXCELIS MTL-200A等离子体蚀刻器/asher具有先进的多站配置,可优化使用和灵活性。MTL-200A可以处理单面和双面晶片配置,允许同时处理多个晶片,从而提高效率和吞吐量。此外，AXCELIS/FUSION MTL-200A采用先进的双模等离子体源，嵌入式精密角楔形电极，用于控制蚀刻和灰化过程。精密的等离子体源可以在非常细腻的结构中进行深度均匀的蚀刻，而不会损坏晶片的表面。另一方面，Ashing在蚀刻特征之间精确操作，为随后的晶片处理创建干净的晶片表面。FUSION MTL-200A优越的设计也确保了蚀刻工艺参数的准确性和可重复性，如温度、压力和气流。等离子体电源与气体输送系统相结合提供了高度的控制，以确保蚀刻和灰化的最佳条件。除了强大的等离子体技术，AXCELIS MTL-200A的先进软件系统允许高度的过程控制和跟踪。该软件包括用于全过程监视和分析的高级映射和诊断功能,以及可选的APC/EPC功能。这些功能使用户能够监控过程周期中的所有操作参数,分析每个蚀刻/灰分过程的详细信息,并优化配方参数以提高输出和产量。总之，来自AXCELIS的MTL-200A Plasma Etcher/Asher是半导体工业的一个强大而高效的工具。其先进的多站配置、精密的等离子体源、优越的软件系统相结合，提供精准、可重复、均匀的蚀刻和灰化，产率优越。