二手 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9087725 待售

AXCELIS/FUSION MTL-200A是蚀刻器/asher。它是一种高精度、高功率、干燥蚀刻设备，专为满足半导体器件制造的各种要求而设计。FUSION MTL-200A能够使用感应耦合等离子体蚀刻各种材料，包括硅、砷化的、多晶硅的、碳化硅的和金刚石的。Ashing也是AXCELIS MTL-200A的选项。其先进的工艺能力可节省材料,减少循环时间和能源消耗,提供出色的蚀刻效果,并将材料损失降至最低。MTL-200A的模块化设计使其易于升级和扩展以满足未来的流程要求。它的设计基于经过现场验证的利用所有PLC逻辑的技术,允许使用坚固、可靠且维护最少的系统。用户友好的HMI界面允许简单的参数差异和过程应用，而各种选项则允许用户根据特定的过程要求定制其单元。此外,AXCELIS/FUSION MTL-200A的内置诊断功能可以立即提醒用户任何设备或流程故障,从而减少停机时间和整体流程成本。最后,FUSION MTL-200A具有多种安全功能和措施,为流程的开发和完成提供了高效、安全的环境。它配备了专用的可编程逻辑控制器（PLC）以确保正常运行,以及集成式气室压力监测机和自动压差警告工具（PDW）以提高安全性。此外,它的控制和监视功能以及资产验证可提供实时反馈和过程控制,从而实现准确的过程性能。总体而言，AXCELIS MTL-200A是制造半导体器件的高效、可靠、安全的蚀刻器/灰化器。其先进的特点，易于维护和操作，以及安全防护，使其成为所有蚀刻和灰化需求的理想选择。