二手 AXCELIS / FUSION MU #293767225 待售

AXCELIS/FUSION MU是一种先进的湿蚀刻器/asher，用于半导体制造。它被设计用来蚀刻和粉刷纳米至亚微米范围内极其薄薄的材料层。其主要特点包括对蚀刻参数进行精确控制的高速蚀刻，广泛的工艺配方，以及在各种半导体制造工艺中使用的能力。FUSION MU利用独特的等离子体辅助蚀刻工艺,使其能够蚀刻非常薄的材料层,并获得非常精确和一致的结果。它利用电子回旋加速器频率源产生等离子体，产生高能离子，分解材料分子键，以便蚀刻它们。此过程允许在高达20,000埃的厚度上蚀刻材料，具有极高的精度和均匀性。它还可以对非常狭窄的特征进行蚀刻，其尺寸可降至十分之一微米。不仅AXCELIS MU进行了高度精确的蚀刻，还可以用来进行ashing。灰化是使用气态燃烧器从晶圆表面控制去除有机材料。此过程不需要使用化学蚀刻剂，而是使用与蚀刻过程由相同来源供电的等离子体辅助灰化过程。这允许控制和定制灰化过程的各个方面，从燃烧器的温度到其氧化剂还原溷合。MU是专门为应付困难的挑战而设计的。AXCELIS/FUSION MU具有灵活的体系结构,可轻松适应各种制造过程。腔室设计有一个单一的气体入口，多个出口，以及一系列可以定制的用于进行蚀刻和灰化的电极。蚀刻室由独立的热管理系统加热和冷却，以优化蚀刻后倾斜能力。蚀刻和灰化工艺的加工配方也可以很容易地修改，以满足特定的技术需求。FUSION MU具有丰富的功能设计,对蚀刻和灰化过程提供卓越的精度和控制。由于其令人印象深刻的规格，它可以用于各种各样的制造工艺，从生产先进的半导体器件到光掩模、微芯片和X射线掩模的蚀刻和灰化。其灵活性、准确性和吞吐量使其成为任何半导体制造环境的有利和可靠资产。