二手 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320 #293822275 待售

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320是为先进的纳米加工工艺而设计的专用蚀刻和灰化设备。它是为晶圆和基材的薄膜蚀刻开发的高精度系统。该装置能够提供清洁、受控的蚀刻，这对于当今高精度的纳米加工工艺至关重要。FUSION RadiantStrip 320是一个工艺室，提供独特的设计，最大限度地减少等离子体负载。它旨在在高蚀刻速率下实现低腔室压力。腔室的配置允许对多个工艺参数进行优化，并能可靠地提供高质量的蚀刻结果。机器使用高纯度、高压惰性气体作为形成等离子体的气体和低压射频发生器在室内产生等离子体。然后用等离子体蚀刻基材。该工具还提供低电压和能耗。此外,AXCELIS RadiantStrip 320还可以提供良好的重复性和出色的均匀性.该资产为用户提供各种工艺配方，如快速热退火、聚酰亚胺蚀刻、氮化硅蚀刻、金属薄膜蚀刻等。每个配方都可以配置温度、压力、功率和流量等参数。它还支持非标准流程配方，允许用户为特定应用自定义流程。RadiantStrip 320还提供强大的安全功能。它配备了双室真空互锁模型，确保安全的工作环境。设备还包含一个ESD保护电路，防止ESD激增冲击蚀刻过程。总体而言,AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320是一个先进的蚀刻和灰化系统,能够提供干净、精确的蚀刻和灰化,并具有可重复和统一的结果。该单元为用户提供了广泛的应用程序组合和可定制的配方,以及保护员工免受ESD激增影响的多功能安全功能。它是高精度纳米加工工艺的理想选择。