二手 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320ES #293625715 待售

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES是专门为高级阵列应用设计的hpa蚀刻/灰烬设备。该系统采用先进技术,能够处理200 mm至300 mm的晶圆尺寸。它具有两个独立的、高性能的端站过程单元和两个独立的负载锁定模块，以减少学习曲线和最大程度地减少误解。FUSION RadiantStrip 320ES提供高生产率和特征高度均匀性。它具有更新的用户界面,可提供出色的控制、详细的流程升级功能以及对设备工作温度和事件的直观可见性。此外,AXCELIS RadiantStrip 320ES支持一系列高级工艺,包括深层反应性离子蚀刻、纳米图案处理和化学机械抛光。RadiantStrip 320ES机还包括一台先进的涡轮分子泵,该泵经调节可确保恒定的腔室压力环境,能很好地减少光掩模密度的过程引起的CD变化,以及降低高长宽比的特征损耗。其集成的远程等离子体源以极低的频率提供了极好的均匀性，旨在最大限度地减少其他蚀刻系统中发现的来自高功率等离子体源的过程退化。它还具有先进的单晶片冷却功能，以优化热预算和减少缺陷。AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES还具有高级升级功能,允许定制该工具以满足客户的需求。它具有一系列选项,例如附加的端站单元、短的etc/ash工具、狭窄的间隙工具和附加的过程模块。FUSION RadiantStrip 320ES非常适合许多高级阵列应用,包括高级内存和设备开发,以及薄膜晶体管制造。AXCELIS RadiantStrip 320ES采用最优质的材料设计,是一项可靠的资产,可提供卓越的效果,同时提供过程连续性和高生产率。RadiantStrip 320ES具有先进的工艺技术和允许客户定制其系统的灵活性,对于需要高效可靠的蚀刻/灰烬模型来满足其生产需求的任何人来说,它都是一个极好的选择。