二手 AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717 待售

AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210是一款高度先进的蚀刻器/asher,专为高速、精确的蚀刻和ashing任务而设计。该设备采用反应性离子蚀刻（RIE）、化学气相沉积（CVD）和湿工艺的组合。FUSION Rapidstrip 210有两个内置的蚀刻室，一个用于反应性离子蚀刻过程，另一个用于化学气相沉积过程。针对不同的蚀刻和灰化要求对这两个系统进行了优化。该设备能够将表面蚀刻到0.2 μ m的分辨率,从而获得非常精确的结果。它在低至0.1 mbar的工作压力下运行，可以配置为处理先进材料如硅、III-V材料和有机物。此外,AXCELIS Rapidstrip 210凭借其先进的自动加载功能,可以实现非常高的吞吐量。串联晶片盒式装载机在装卸物料时可以节省时间，而自动化过程控制系统简化操作，降低人为错误的风险。机组还配备了多种安全功能，确保机器安全高效运行。它具有用于监测气流和腔室压力的集成安全控制器，以及用于防止电磁干扰的EMI滤波器。它还具有针对电压错误的反极性保护和当机器遇到错误时紧急程序停止。为了进一步加强其运作，Rapidstrip 210设计方便用户。其直观的图形用户界面（GUI）可轻松浏览各种任务。此外,用户可以选择特定的食谱,存储和访问常用食谱,并回顾过去的过程,支持他们为所需的蚀刻或灰化过程设置食谱。总体而言,AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 蚀刻器/asher是一种高级工具,专为高速、精确的蚀刻和灰化任务而设计。凭借其用户友好的GUI、多种集成的安全功能、高精度和高吞吐量功能,它非常适合各种蚀刻和灰化要求。