二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9252297 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款蚀刻器和asher，用于电子、汽车、生物医学和纳米技术等行业。在拆卸各种基材（包括金属、电介质和有机物）方面，蚀刻器和asher提供了出色的性能。FUSION RapidStrip 320提供了无与伦比的工作效率,并提供了可扩展的平台,使用户能够在不影响质量的情况下提高吞吐量。AXCELIS RapidStrip 320配备了真空室，为待处理材料提供了一个受控且无污染物的加工环境。它能够处理大的基板负载，能够处理多达200毫米的晶圆。真空室用来将基板固定在适当的位置，而废水收集器则会捕获蚀刻过程中被去除的任何材料。腔室还装有静电卡盘（ESC），负责确保原位电极供应。ESC还消除了材料在加工过程中移动的任何机会,进一步提高了精度和吞吐量。RapidStrip 320具有广泛的蚀刻功能,包括但不限于：基于硅的深层蚀刻、有选择地去除厚或非常薄的材料层以及优化的交替金属层蚀刻。其获得专利的冷等离子体技术减少了底物损伤，并确保了由于改善了离子-能量分布而导致的均匀蚀刻。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320的灰光机用于实现材料图样的均匀沉积。这允许用户实现内存和处理器包的精细阵列。Asher有一个易于使用的GUI，允许用户设置配方和程序基板传输。FUSION RapidStrip 320在蚀刻和灰化功能方面均提供卓越的性能。它可以快速准确地拆解各种材料，沉积光刻胶进行图样制作，并执行需要精确控制的过程。AXCELIS RapidStrip 320具有高效的真空系统、大的基板载荷和获得专利的冷等离子体技术,是一个可靠且经济实惠的解决方桉,适用于一系列行业。