二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9298289 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款先进的蚀刻器/asher工具,专为高选择性、可变温度和压力以及快速的工艺速率而设计。它能够处理多种基板，如硅、复合系统和GaAs。此工具提供了广泛的高真空蚀刻速率,包括浅蚀刻（<10nm）、亚微米和深蚀刻（<20 µm）。其精确的过程控制使用户能够实现高度可重复的蚀刻配置文件。该工具利用独特的工艺室几何实现多相处理功能。这允许同时蚀刻多种基材和统一开发复杂的工艺型材。腔室在整个加工过程中还提供低磁场，从而使工艺更加清洁可靠。FUSION RapidStrip 320具有独立的工艺室（前部和后部）,具有可变的温度和压力设置,使用户可以完全控制蚀刻过程。该工具还具有用于厚度监测或牺牲材料沉积的沉积端口。该室还提供与其他AXCELISelements的完全连接，如远程监视器、实时流程数据记录以及可重复和可靠蚀刻流程的流程配方。AXCELIS RapidStrip 320的快速平版印刷功能允许以高达每分钟4个晶圆的吞吐量和高达10nm的分辨率快速准确地打印图样。它还通过实时监控和全晶圆级工艺配方提供了与工艺控制的高级蚀刻工艺集成，以精确控制工艺端点和可重复性。RapidStrip 320是一款典型的设备,它采用最新的工艺控制和监控技术提供用户友好的操作,实现了可重复和可靠的蚀刻过程。这种功能的组合使其成为市场上功能最强大和最先进的蚀刻器/分类器之一。