二手 AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719 待售

AXCELIS/FUSION Rapidstrip是专门为各种半导体应用而设计的蚀刻器和asher。它旨在以具有竞争力的价格提供业界领先的蚀刻速率和优越的表面平面度。这种设备是为处理200毫米和300毫米晶圆而设计的，精度和精确度最高。蚀刻/灰化室是为真正的平行板蚀刻能力而建造的，允许增强灵活性和过程控制。腔室由高压涡轮分子泵驱动，能够以5 × 10-7 Pa的特殊底压运行，泵送速度高达20升/秒。该工艺气体阀设计包含六个独立组合的气体输出，同时拥有85标准升/分钟的最大气体流量。在过程控制方面,FUSION Rapidstrip具有可调功率控制范围的0-550W,最大蚀刻速率为5A/min,并且配方文件能够将多达32 K的因子存储到内存中。整个晶片的均匀度轮廓在3%的偏差范围内是平坦的，总厚度均匀度为4-7%。材料板、焦环、点火器均采用不锈钢制成，使蚀刻器和灰化器具有很高的耐用性和可靠性。该设备还有一个内置的冷却/清洁系统，以达到最佳性能，并具有保护环境的氮气/氧气能力。AXCELIS Rapidstrip与多种有机、无机、含金属材料、各种基材、多种尺寸兼容。它还允许蚀刻最深的沟槽和最微小的氛围，并符合半导体行业接受的最高质量标准。综上所述，Rapidstrip是一款功能极其强大、可靠的蚀刻器和asher，能够满足半导体客户最复杂的要求。