二手 AXCELIS / FUSION WSI #9083198 待售

AXCELIS/FUSION WSI是一种蚀刻器/asher设备，设计用于蚀刻和灰晶片级集成电路（IC），具有高达300毫米晶片。它提供了一套功能以实现快速晶片处理,包括多流程、多腔室和多配方处理功能。FUSION WSI系统由蚀刻反应器和asher两个主要元素组成。蚀刻反应器同时提供电感耦合等离子体（ICP）和自由基等离子体，将集成电路模式蚀刻到晶圆表面。ICP蚀刻过程的选择性比非常低,因此可以创建清晰的高清模式。ICP还用于在多个层和大面积上蚀刻关闭墙应用程序。这种灰化器使氟基和金属基的灰分工艺都可以使用。这使得各种不同的掺杂剂、它们的浓度和氧化物被精确地放置在IC上，从而能够实现所需的电特性。AXCELIS WSI单元可实现节省时间的多晶片批处理。它能够同时处理多达六个晶片,从而实现高吞吐量生产。机器还有一个直观的用户界面，简化了设置机器的任务。自动化软件确保工具获得可重复的结果，用户可以为每个层设置过程的参数，以实现他们想要的最终产品。在配方管理方面,资产还提供了灵活性,允许用户保存和召回不同流程的配方。这样可以轻松地在多个运行中复制结果,从而确保批次之间的性能一致。WSI型号还提供出色的安全功能,包括一个独立的RF存储模块,使人员远离工艺区域。该设备还设计为以最少的维护运行，确保高可靠性和较长的系统寿命。总体而言，AXCELIS/FUSION WSI单元为晶片级集成电路的蚀刻和灰分提供了高度准确可靠的结果。它是一台用途广泛且可靠的计算机,为用户提供快速的安装时间、高吞吐量、可重复的结果以及对过程的精确控制。