二手 AXCELIS / FUSION WSI #9087726 待售

AXCELIS/FUSION WSI是一种先进的蚀刻/灰烬设备,旨在消除手动蚀刻工艺和机载蚀刻/灰烬系统的需要。FUSION WSI系统使用深层紫外线激光器、高功率射频源以及气体和化学输送装置的组合。该机还配备了自动洗室工具，以经济高效的方式在每次蚀刻或灰烬循环后快速可靠地清洁洗室。此集成资产提供了高吞吐量、高均匀性和工艺解决方桉,能够实现各种薄膜尺寸和形状。该模型能够在广泛的材料上产生精确的图样，包括GaAs、硅、多晶硅、SiGe和氮化物。AXCELIS WSI设备由多种材料提供动力，包括气体、液体和等离子体源。该系统能够提供精确和可重复的工艺配方，也为用户在编程蚀刻和灰分配方时提供了更大的灵活性。高功率射频源用于为GaAs、SiGe和氮化物材料提供精确的等离子体蚀刻。深层紫外线（DUV）激光器被用来有效地开发蚀刻配方，使其能有效地对多晶硅、GaAs等困难材料进行图样和蚀刻。WSI单元还具有自动进纸机，允许用户将晶片精确送入工具。进纸器资产具有防止非均匀性和污染的综合抗静电装置。AXCELIS/FUSION WSI型号配备了工艺控制,可为各种蚀刻和灰烬工艺提供高精度。该设备还允许用户快速有效地在食谱之间关闭电源并向上倾斜。断电和斜坡上升功能可防止过程配方突然发生变化,从而导致有害结果。总之，FUSION WSI系统是一种高度先进的蚀刻器/asher，其设计目的是为各种材料提供精确的蚀刻。该机具有自动化进纸装置、集成的防静电和过程控制功能，能够提供高精度和均匀性的可重复蚀刻配方。它提供了一种经济高效的方法，以准确的蚀刻和灰分材料与最小的时间消耗量。