二手 AXCELIS Integra #9293674 待售

AXCELIS Integra
ID: 9293674
晶圆大小: 12"
System, 12".
AXCELIS Integra是一种蚀刻/灰化设备,设计用于制造复杂的集成电路。它基于经过验证的ABAXIS设计,可提供高水平的可重复性。该系统由四个主要组成部分组成:一个工艺室、一个反应堆、一个探测器和一个蚀刻/灰化工艺头。加工室是一个温度和大气控制的室,包含蚀刻/灰化单元的组件。它旨在为蚀刻/灰化过程提供受控环境,确保温度、压力和过程保持最佳管理。腔室本身配有经过优化的真空机,以及自动大气控制工具,以确保最佳的蚀刻和灰化效果。反应堆负责产生蚀刻/灰化过程所需的聚焦定向能量。它含有一系列带电的电极,相互作用形成蚀刻/灰化所必需的反应。该反应堆的定制设计是为了确保产生任何特定蚀刻/灰化项目所需的精确能量。检测器是确保进程正确运行的基本组件,旨在提供每个蚀刻/灰化步骤所需参数的反馈。这样可以确保可以根据需要监视和纠正蚀刻/灰化过程,以产生最佳的结果。最后,蚀刻/灰化过程头是实际执行蚀刻/灰化过程的主要组件。其设计能产生一致、精确的蚀刻/灰化结果,并配有高精度喷嘴。这样可以确保快速准确地执行蚀刻/灰化过程。总之,Integra是一种高度可靠、功能强大的蚀刻/灰化资产,旨在处理即使是最复杂的设计的复杂性。专有反应堆确保为任何给定的过程产生精确的能级,而自动大气控制和探测器则保证该过程顺利运行。最后,蚀刻/灰化工艺头的设计可产生统一、精确的结果,确保每次都能获得最高质量的产品。
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