二手 AXCELIS Integra #9389490 待售

AXCELIS Integra是一款先进的干蚀刻设备，旨在为大型化合物和单晶半导体晶片提供蚀刻处理能力。它能够使用常规化学气相沉积（CVD）或等离子体沉积进行蚀刻。Integra系统将允许用户按顺序蚀刻多层,从而实现对各种功能材料的高分辨率蚀刻。该单元采用了一个创新的设计，详见光学和光子学技术手册，第二版。机器由两个部分组成：一个腔室和一个电源.该腔室包含高真空环境，用于蚀刻加工，并配有可调节的快门，以防止环境污染。电源由直流链路逆变器和交流/直流电池组成，两者均能提供高达7 kV的功率。该工具使用户能够通过电源的控制来调整蚀刻速率，从而实现高工艺效率和灵活性。最新的光刻和蚀刻子系统为AXCELIS Integra提供了动力,形成了一个集成的解决方桉,可提供无与伦比的性能和可靠的蚀刻结果。该资产能够蚀刻高达20 nm的薄层,其工艺深度一致性高于2%。蚀刻工艺具有广泛的相容材料，包括铜、氮化零、氮化铝、硅化多晶硅。有多种蚀刻模式可用，允许用户微调蚀刻工艺，以优化分辨率、产量和其他工艺参数。Integra模型还具有增强的安全功能,如主动气体监测设备、自动紧急停止和过温警报。这些安全系统确保用户得到充分的保护，免受任何危险过程和材料的伤害。此外，该系统符合NRTL，意味着它符合国家消防协会和UL的要求。AXCELIS Integra单元是任何需要可靠蚀刻并精确控制蚀刻过程的半导体应用的理想蚀刻解决方桉。凭借其创新的设计、可调的蚀刻速率、广泛的兼容材料以及增强的安全特性，Integra是任何蚀刻或加工任务的绝佳选择。