二手 AXIC HF-8 #9124396 待售

AXIC HF-8是一种用于半导体工业的蚀刻器和asher。该装置适用于等离子体蚀刻、氧化、掺杂剂扩散和材料表面蚀刻等应用。它具有5-Zone的热质量流量控制、原位臭氧监测仪和内置接口。隔热蚀刻室由不锈钢构成，是独立的，以防止潜在的污染。腔室配有金刚石等离子体源，提供最大的电弧稳定性和均匀的等离子体分布。还包括一个自动石英锁载室，可以控制基板的进出。AXIC HF8提供了广泛的工艺参数，包括热快速均匀性和均匀工艺深度。可以根据所需的应用程序调整这些参数以获得最佳结果,从而确保可重复性和提高过程产量。原位臭氧监测仪允许自动控制臭氧的计量和清除，以保持最佳工艺环境。该单元包括一个内置界面，提供一个易于使用的图形用户界面，允许操作员精确调整流程参数。还包括各种配方存储功能和数据记录功能。HF-8系统可以连接到远程计算机,以便于数据传输,从而能够监控和分析过程参数。HF8是一个通用系统，可用于各种行业，包括半导体、太阳能和医疗设备制造。其体积大，设计高效，因排气水平低，适合洁净室环境。系统的自动化操作和内置接口有助于确保可重复性、准确性和可靠的流程结果。