二手 AXIC Multimode HF-8 #60542 待售

AXIC Multimode HF-8是一种用于各种研究和工程应用的最先进的蚀刻器和asher。它设计用于在直径不超过8英寸的晶片上进行蚀刻、灰化和光刻。该设备具有高吞吐量和良好的工艺质量和可靠性，因此非常适合工业和研究应用。该设备以反应性离子蚀刻（RIE）技术为基础，具有真空室以及若干辅助部件。其基本系统由真空室、射频发电机、控制单元和蚀刻/扩散源组成。标准样本量为150 x 150 x0.25 mm，设备与大多数类型的塑料、金属和石英基板兼容。此外,它还可以蚀刻和消色基板,小尺寸的特征高达1微米.Multimode HF-8的主要成分包括几种不同类型的等离子体源，如感应耦合等离子体（ICP）、反应性离子蚀刻（RIE）和激光烧蚀源。这些源提供了一系列蚀刻和扩散过程,以便为不同的应用程序启用自定义过程。AXIC多模HF-8的可能操作包括结构蚀刻、上层和中层光刻、扩散和离子注入。该装置具有多种安全特性，如温度保护和气体泄漏检测。它还配备了计算机化的控制机器，能够实现自动和微调的过程控制。该软件包允许定制蚀刻和光刻配方，从而提供更大的工艺灵活性。Multimode HF-8提供了一种功能强大且用途广泛的蚀刻、灰度和光刻工具。凭借先进的等离子体源、可靠的控制工具和一系列安全功能，它提供了快速可靠的处理，同时提供了良好的工艺质量。它适用于工业和研究应用，使其成为市场上最好的蚀刻器和石灰盒之一。