二手 AXIC Multimode HF-8 #9171691 待售

AXIC Multimode HF-8是一种用于高频电路制造的现代蚀刻器/asher。即使是最复杂的微加工工艺,HF-8也能提供快速、均匀的蚀刻和灰化时间。该设备采用550W高频感应源系统，将处理直径不超过8英寸的基板。感应源和腔室设计提高了工艺的均匀性和可重复性。该HF-8还配备了数字引擎，允许基于时间的、精确的蚀刻和灰化过程。数字引擎包括一个可编程温度控制单元，用于精确控制目标值± 2°C以内的温度。这样可以通过不同的工艺配方获得一致的结果,从而确保可靠的设备性能。该机器还提供了蚀刻器/asher和配方管理软件之间的通信，从而便于定制和选择工艺配方。该HF-8配备了用于高效输送蚀刻和灰化气体的RVF气体输送工具，以及用于超纯前体和消除产品的DI/UPW腔室。N2载气也与工艺室完全隔离，不需要外部载气供应。该资产包括一个完全计算机化的触摸屏界面，用于监测和显示流程数据。随附的图形软件允许用户目视监视和控制蚀刻/ashing配方。实时流程监视器允许记录和记录用途和配方,从而便于分析和比较不同的流程结果。多模HF-8是精密高频电路制造的理想模型,它提供了比传统蚀刻和灰化工艺更好的过程控制、统一的结果和更大的灵活性。