二手 AXIC PlasMaster #9124358 待售
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ID: 9124358
晶圆大小: 8"
RIE system, 8"
Manual load system
Non-load lock
Computer control
CRT and keyboard
SST chamber
12” Water cooled electrode
(4) MFCs,balzers turbo pump
Leybold mechanical pump
AE RFX 600 power supply with auto matching network
Laser endpoint detection
Bay voltex water chiller.
AXIC PlasMaster是一款精密蚀刻和灰化设备,设计用于通过计算机控制的工艺技术对大部分金属、陶瓷和玻璃进行工具、蚀刻和灰化。该系统是广泛应用的理想选择,包括微电子、医疗设备、MEMS和光子学。该装置旨在为客户提供更高的精确度、速度和可靠性,使他们的蚀刻和灰化过程更加准确。PlasMaster利用真空机器均匀地施加蚀刻和灰化过程所需的压力,以保证最佳均匀性。它还包含一个温度控制工具,具有快速的响应时间,以最大的精度。该资产配备了高功率的连续开关脉冲发生器,在蚀刻和灰化过程中提供了速度和精确的控制。使用此生成器,AXIC PlasMaster可以高精度地蚀刻或制作复杂的图桉。蚀刻和灰化过程在封闭容器内进行,与环境隔离,增加了一层额外的安全性。PlasMaster直观的控制软件使得设置蚀刻和灰化参数变得容易,并快速模拟过程。软件会在屏幕上显示选定的参数,以确保过程的准确性。它还为记录和归档操作提供了流程可追踪性。此外,控制软件还提供参数优化功能,以优化每个应用程序的蚀刻和灰化过程。AXIC PlasMaster的设计和构建都是出于安全考虑。封闭式容器设计消除了污染物进入工艺过程的风险,而惰性气体大气工作,以尽量减少与工件的反应。该模型还包括安全罩和警告警告设备,以提醒操作员注意危险物质和温度。总体而言,PlasMaster是各种应用程序的蚀刻和灰化需求的绝佳选择。该系统的精确控制和均匀的蚀刻和灰化能力使其成为精确临界应用的绝佳选择。直观的控制软件可以方便地设置参数和优化过程,而设备的安全功能则确保用户在操作过程中的安全。
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