二手 BAL-TEC BAF060 #9247281 待售

BAL-TEC BAF060是半导体工业中为精密蚀刻和灰化而设计的蚀刻器/灰化器。它提供了较高的蚀刻速率、均匀性和具有较大晶圆面积的选择性。这台机器能够为要求最苛刻的工艺要求提供高达3微米或更少的蚀刻选择性，从而为最先进的半导体产品制造先进的体系结构。BAF060具有三轴运动设计,可确保准确性和可重复性。每条轴行进长达1.5米，由高精度线性驱动电动机驱动，使得循环时间非常短。设备配有多级监控系统，监控整个单元，控制蚀刻/灰化过程。BAL-TEC BAF060还有一台内置计算机,它存储食谱和食谱信息,允许根据特定要求定制蚀刻/灰化过程。这对生产光伏、MEMS等先进半导体结构尤其有利。内置计算机还充当"实时"控制中心，不断监控机器，确保过程正确进行。BAF060配有各种加工气体，可供应到蚀刻室，提供完整范围的加工气体，用于精确蚀刻和灰化。气体以闭环工具输送，确保加工气体的均匀流动和蚀刻室内的原始环境。这使BAL-TEC BAF060能够在单个蚀刻和灰化过程中提供最佳结果。BAF060过程非常方便用户,允许用户进行自动化和监控。用户可以逐步监视整个过程,并在需要时对资产进行手动命令。这样可以快速校准、诊断和优化流程。总体而言，BAL-TEC BAF060是精密蚀刻和灰化工艺的一个非常复杂和可靠的工具。它具有均匀的蚀刻速率、可重复性和选择性，适用于大面积半导体结构。此外,用户友好的流程和众多的运营优势使BAF060成为半导体行业的宝贵资产。