二手 BAL-TEC RES010 #171772 待售

BAL-TEC RES-010是一种精密的台式蚀刻/灰化系统，设计用于中大规模基板加工。是研究开发电光晶体和玻璃蚀刻、薄膜蚀刻化学、MEMS器件蚀刻、半导体粉刷剥离等工艺的理想选择。该系统由五个主要组成部分组成；一个主机，一个电源，一个台式，一个加工室和一个冷却剂供应。主单元容纳加工室，由上下室组成，为蚀刻面罩提供光源。电源和台式台面装有数字显示屏，便于调整蚀刻参数。该工艺室的设计允许垂直和横向流动或介质入口和出口，这使得该工艺用途广泛，效率高。集成的冷却剂供应确保了最佳和稳定的工艺温度，而全封闭的保温材料在加工周期中保持了腔室的温度稳定。这保证了基板在比周围环境高得多的温度下加工，也能够达到亚微米特征大小。BAL-TEC RES-010有一系列特定于流程的配方，可以快速、轻松地存储和召回，方便定制每个配方，并对流程拥有完全的控制权。它还具有全自动石英晶体监视器，允许用户跟踪蚀刻进度，同时确保蚀刻正确进行。该蚀刻器装有涡轮分子泵，在较宽的蚀刻面积上实现最佳均匀性。BAL-TEC RES-010提供出色的蚀刻均匀性和可重复性,使其成为中大规模工艺的理想工具。这使得它适合从半导体到微电子器件的行业，每次都提供可靠的结果。该系统还通过其PEEK加固墙和出色的保温材料保证安全，以最佳地防止意外的热冲击和应变。