二手 BALZERS BAF 400 #9016405 待售

BALZERS BAF 400是由BALZERS製造的高性能Plasma Asher系统。它专为研究和工艺集成而设计，能够进行反应性离子蚀刻（RIE），以及对各种基板上的厚薄膜和薄膜进行粉刷和清洗。该系统利用专有的电感耦合等离子体（ICP）源,能够进行多种过程,包括O2、SF6、CF4和Ar等离子体蚀刻。ICP源具有更好的稳定性和工艺灵活性,可以更精确地控制工艺参数,从而获得优异的清洁和蚀刻效果。组成BAF 400的组件是完全集成的,旨在协同工作,提供可靠性和可重复性。系统配备了参数控制控制器和在腔室压力超过一定极限时自动关闭等离子体的真空互锁。此外，BALZERS BAF 400具有高温蚀刻功能，允许在高达185 °C的温度下蚀刻材料。在蚀刻过程中可以调整压力、射频功率和气体流量等多种工艺参数。腔室配有用于气体管理的入口和出口，能够快速、均匀地使用加工气体。腔室还可以连接到外部真空泵，以有效排出反应性气体。BAF 400还装有温度范围在-20至+100°C之间的加热淋浴板，用于安全可靠的处理。包括保形涂层特征,允许在样品上均匀涂层.BALZERS BAF 400具有精确的控制参数和多用途的特点，是研发和工艺集成应用的绝佳蚀刻解决方桉。其可靠性和高蚀刻质量使其成为任何实验室或生产环境的宝贵补充。