二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137 待售

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150是一种蚀刻器或Asher，专为在大大小小的基材区域上精确、超快的钨蚀刻和重金属灰化工艺而设计。它是当今市场上最先进的蚀刻系统之一，是一种非常可靠和具有成本效益的工具，已经集成用于IC制造、MEMS和半导体应用等先进的微加工技术。该蚀刻器由一个强大的CO2激光设备和一个精密的二次谐波谐振器组成，其设计目的是提供最高的蚀刻精度和最小的热降解。BALZERS LFC 150配备了两个独立的激光束和一个高精度的多轴舞台，对蚀刻过程提供精确的控制。这两种激光器可以被编程为同时执行相同的蚀刻周期，提高生产率，并允许更精确的蚀刻用较少的时间和精力。该级还配备了温度控制系统,该系统有助于确保工作温度保持在0-30°C之间,并配备了一个可使基本压力达到40毫巴的真空装置。真空机的设计目的是迅速消除加工室的污染，从而提高蚀刻产量和长期精度。该工具还包括一个控制软件和PC接口，可用于轻松编程和监控蚀刻过程。这使得蚀刻过程不会中断，所有参数如激光爆发开/关、激光强度、蚀刻轮廓和蚀刻区域都可以立即改变。此外，该资产拥有一系列专门的探测器，以持续监测蚀刻过程，确保最高质量的结果。INFICON LFC 150是各种先进微加工应用的理想工具，如高端设备、MEMS和IC制造。其精密蚀刻和卓越的ashing功能,以及高级自动化,提供了高效、用户友好的蚀刻工具,并具有可靠的结果。