二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9289483 待售

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150是一种先进的蚀刻/asher系统，用于半导体工业生产高质量的元件。这种工业级机器经过专门设计，能够提供精确的蚀刻结果，并最大限度地减少循环时间。BALZERS LFC 150具有强大而可靠的热氧化系统,使用户能够自定义ashing操作。这使得蚀刻均匀零件更容易达到精确的规格，同时将氧化对组分的影响降至最低。精确的温度控制和可调节的气氛相结合，提高了工艺一致性和产品质量。INFICON LFC 150利用先进的信号解码和过滤技术,使设备能够以高达40MHz的速度执行关键过程。这种快速的灰化产生了高质量、可重复的部件。此外，智能精矿系统可确保对蚀刻剂浓度的精确控制，从而实现高效和一致的蚀刻。为了进行蚀刻，LFC 150安装了可靠的双等离子体火炬头，以确保可靠的热脉冲产生。脉冲宽度可以根据需要进行调整，通过集成工艺速率监测器可以进一步优化蚀刻工艺。在安全性方面，BALZERS/INFICON LFC 150设计为在闭环系统下运作，即使在微观装置工作时也能确保低风险的环境。该装置还根据国际气体安全标准进行认证，确保不使用易燃气体。BALZERS LFC 150最先进的功能、可靠的性能和以安全为中心的特性使其成为生产下一代半导体元件的理想选择。