二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9298823 待售

BALZERS/INFICON LFC 150是一种多功能蚀刻器或灰化器，旨在以高度可靠和可重现的方式蚀刻和灰化各种样品。这种设备设计用于实验室或半导体工业，占地面积小，非常适合小型空间。BALZERS LFC 150由一个由不锈钢罐构成的集成工艺罐组成，其中包含一个自动化的化学品输送和废物管理系统。罐内的流体由高压泵机提供，也可以通过单独的反应室机进行补充，允许进行多步处理。集成工具包括必要的过程电源,以及用于精确控制蚀刻和/或灰化过程的能量和温度控制资产。此外,控制模型还连接到真空设备,该设备可用作蚀刻和/或灰化的替代工艺控制。INFICON LFC 150进一步配备了多种过程监视器，例如压力、温度、电压和大气压计，以及广泛的其他安全特性，可以在过程中监视潜在的危险情况。此外,该设备还具有自动过程控制功能,可实现快速高效的操作,并可减少用户对蚀刻和/或灰化过程的监控。LFC 150还能够通过流量控制、气流控制、温度和电源控制、蚀刻速率以及过程启动和停止时间等可调特性来精确控制蚀刻和/或灰化过程。此外,还可以配置和定制系统以满足特定需求或应用程序,例如为可重复的流程提供配方存储。BALZERS/INFICON LFC 150提供可靠和快速控制的蚀刻和/或灰化工艺,具有出色的可重复性,并且覆盖了厚薄样品材料。此单元用户友好、经济高效、安全,并提供出色的流程效果。