二手 BALZERS LFC 150 #9258235 待售

BALZERS LFC 150是一种高精度的蚀刻器/asher，设计用于动态特征尺寸低至500微米的基板的蚀刻/灰度。设备配备了自动基板装载机，以提高工艺速度和精度。LFC 150包括用于微加工的双束激光器，其中一个聚焦在样品上，另一个直接聚焦在基板上。激光光束用于汽化、烧蚀、灰化和蚀刻过程。梁的尺寸可调整以适合特定的应用。此外，机器的光束可以精确对齐，以确保精确蚀刻。蚀刻器/asher利用惰性气氛，以极高的精确度取得优异的蚀刻效果。惰性大气层由氮气、氙气和氧气组成，有助于确保表面材料的均匀烧蚀。可以根据样品大小和材料来调整蚀刻温度，防止表面损坏。该机可进行反应性离子蚀刻、离子束蚀刻、化学蒸气蚀刻和等离子体蚀刻等多种蚀刻工艺。配备了控制系统，对蚀刻参数进行精确控制。参数可以针对不同的过程进行调整。BALZERS LFC 150还设有一个内置安全单元，以保护操作员免受潜在危害。该机器配有传感器，用于检测任何故障或不规则操作，以便操作人员即使在危险环境中也能保持安全。总体而言，LFC 150 蚀刻器/asher是一种功能强大且可靠的机器，能够以非常高的精度蚀刻和灰分基板。它结合了强大的激光束、惰性大气、先进的控制系统和全面的安全机器，使其成为小型和大型应用的理想选择。