二手 BALZERS / UCP LFC 150 #293799927 待售

BALZERS/UCP LFC 150是半导体和微电子工业中用于等离子体清洗、蚀刻和表面改性过程的专用蚀刻器/asher设备。这种先进的设备旨在以卓越的精度和可靠性提供高性能结果。UCP LFC 150具有最先进的真空室，创造了有利于等离子体生成的低压环境。该系统配备了一个高频射频（Radio Frequency）电源，将工艺气体电离，创造出一种可用于清洁或蚀刻具有高均匀性和可重复性的基板的等离子体。BALZERS LFC 150的关键组成部分之一是气体输送装置，它可以精确控制加工气体及其流量。这台机器使用户能够量身定制发生在等离子体中的化学反应，以达到特定的蚀刻速率、选择性和表面性质。气体输送工具配有质量流量控制器（MFCs）,可确保整个过程中准确稳定的气流。资产还包括一个载荷锁定室，用于在不破坏真空的情况下将基板进出主加工室。此功能通过保持清洁的处理环境,最大程度地减少了污染并提高了流程的可重复性。负载锁室配备机械臂或卡带模型，用于自动基板处理，进一步提高设备生产率和吞吐量。在等离子体生成方面，LFC 150利用双频等离子体源增强了工艺灵活性。低频（LF）和高频（HF）功率激发的结合允许对等离子体密度和能量分布的控制，实现了广泛的工艺能力，如灰度、降序、各向同性蚀刻和表面修饰。双频等离子体源也有助于系统处理不同类型不同特性的基板和材料的能力。为了监测和控制蚀刻/灰化过程,BALZERS/UCP LFC 150配备了高级过程监控和自动化功能。实时端点检测、光发射光谱（OES）、质谱是部分集成到该单元中的用于过程优化和故障检测的诊断工具。此外，该机器还可以与用于配方管理、数据记录和远程操作的计算机化过程控制软件相连接。UCP LFC 150具有用户友好的功能,易于操作和维护。该工具包括一个具有直观控件和图形显示的用户界面，用于监视流程参数和资产状态。室内清洁、更换电极和模型校准等维护任务简单明了,可轻松访问关键部件和维修端口。总体而言,BALZERS LFC 150是一种用途广泛且可靠的蚀刻/灰度设备,可为各种半导体和微电子应用提供高性能功能。凭借其先进的过程控制、自动化和监控功能,此设备非常适合研究和开发、试生产以及精度和一致性至关重要的大批量制造环境。