二手 BALZERS / UCP LFC 150 #9261441 待售

BALZERS/UCP LFC 150是半导体工业的蚀刻器/灰化器,能够同时进行蚀刻和灰化化学操作。它有两个独立的喷雾室，非常适合中小型生产运行。UCP LFC 150具有先进的数字控制面板和直观的用户界面；用户可以轻松调整参数、监视系统状态和生成流程报告。蚀刻器/灰化器能够将单层或多层薄膜沉积到半导体基板上。室内平均温度可保持在1°C以内，并可处理高真空和超低压化学物质。采用湿蚀刻或电镀等常见行业标准工艺，BALZERS LFC 150可加工铝、铜、金、钯、银、不锈钢等多种金属。两个综合炉室提供了在高达1200°C的温度下加工先进材料的灵活性。此外,由于LFC 150具有高速度的均匀性和可重复性,因此能够提供卓越的品质。蚀刻器/asher还提供强大的远程监视功能,用于流程优化和控制。集成气体输送系统具有高速气动阀和压电刻度，使用户能够准确监控和控制气流。另外，BALZERS/UCP LFC 150拥有先进的工艺气体输送系统，允许用户调整气体分数、类型和压力水平，以满足他们的具体要求。除了可靠性和可重复性，UCP LFC 150还具备主动室排气、遥控互锁保护、紧急电源关闭等安全功能，使其成为业内最安全的蚀刻/灰化系统之一。BALZERS LFC 150采用尖端技术和先进功能,提供可靠、高质量的蚀刻和灰化服务,适用于各种半导体生产过程。