二手 BINDER TPS 216 #293674386 待售
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BINDER TPS 216是蚀刻器或asher,是TPS 2/3系列的高端型号。这台干法加工机设计用于在一个通道内对多达四个基板层进行精密灰化和蚀刻,该机设有4个独立移动的加工室,最高温度为1025摄氏度,压力范围为1-10托, 允许用户使用四种不同的腔室配置,以实现其应用的最佳效果。TPS 216最大功率为160 W,加工时间最长为4分钟,可快速准确地加工各种底物,污染最小。工作面都配备了自动锁定机制,并配备了用于过程管理的板载计算机控件。这包括温度和压力监测,以及集成真空安全和紧急停止功能。借助直观的触摸屏界面,用户可以轻松访问所有系统参数并快速调整这些参数以获得优化的结果。此外,机器还包括配方级管理,允许操作员保存、存储和召回过程供以后使用。为确保灰度和蚀刻操作尽可能保持一致,系统还包括自动晶圆厚度和地形检测、数据记录功能以及具有热中断的系统状态控制器。BINDER TPS 216是精密批处理的绝佳选择。由于其用户友好的界面和广泛的安全功能,这台机器非常适合在研究和生产环境中使用。其令人印象深刻的温度和压力范围加上四个独立可移动的工艺室,使其成为那些希望尝试不同处理技术的人的理想选择。总体而言,TPS 216是一款功能强大的蚀刻和灰化机,能够持续提供可靠的结果。
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