二手 BRANSON / IPC 2000 #9009136 待售

BRANSON / IPC 2000
ID: 9009136
Plasma processing reactor center.
BRANSON/IPC 2000是一款高性能蚀刻器和asher。它配备了独一无二的专利清洁设备,使其能够在每一次蚀刻和灰烬循环中保持高水平的准确性和质量。IPC 2000能够在400 °F至800 °F的温度下运行,非常适合许多工业应用。BRANSON 2000的主要部件是蚀刻室、灰室和射频射频发生器。蚀刻室由隔热石英构成,并有嵌入式环加热器,以维持所需的工艺温度。此外,还有测量腔室压力的离子计、管理腔室内气体含量的供气控制和测量基板温度的热电偶。蚀刻室足够大,可以加工直径达6英寸的晶片。灰室有一个独特的,旋转的篮子设计,以帮助确保均匀的灰度。射频发生器是双频的,包括一个频率切换器来调整过程参数,例如蚀刻或灰率。工艺速率可以在时间和功率上进行调整,以满足所需的规格。2000年还包括多区压力控制、氧化物蚀刻过度喷雾保护和专用过滤器系统,所有这些都有助于保持单元清洁和确保可重复结果。该机还可以进行超精确的深度蚀刻,最小的热量和额外的后蚀刻和灰烬清洗最低要求。总体而言,BRANSON/IPC 2000提供了可靠、可重复和准确的蚀刻和灰化过程。它具有在大多数基板上工作的能力,包括玻璃、金属、陶瓷和硅。这使得它非常适合汽车、电子、航空航天和半导体行业。
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