二手 BRANSON / IPC 3100 #9201709 待售

ID: 9201709
晶圆大小: 6"
Asher, 6" Plasma systems: Low pressure Gaseous plasma: Low temperature Plasma treatment chambers Plasma reactions: Ashing Etching / Polymer Surface modification: Quickly / Reproducibly RF Electrical power Control: Reactant plasma gases.
BRANSON/IPC 3100是Etcher/Asher,旨在提供精确且可重复的过程结果。这对于需要精密过程控制的行业尤为重要。它具有先进的微处理器和直观的Windows用户界面,使设备的操作变得简单。仪器还配备了实时时钟、控制器和双功能气流控制加热室。IPC 3100具有强大的810kHz射频发生器,非常适合各种蚀刻工艺。该系统能够同时执行方向弧和精确过程控制所需的更困难的底层弧。该单元还具有高级流程监控功能,包括自动缩小流程窗口。这为用户提供了对日益严格的流程参数的更大控制。BRANSON 3100的硬化密封室设计用于清洁水平操作。它还具有石英墙插件,可用于减少污染和提高生产率。石英壁受控制的大气环境保证了可重复的等离子体蚀刻过程。这也消除了对外部供气系统的需求,允许极大的灵活性和过程控制。该仪器由直观的Windows用户界面控制,即使对于没有经验的操作员来说也很容易使用。机器还包括一些自我诊断和自动化过程,以确保最大限度的过程控制和可靠性。3100是精确和可重复过程结果的理想选择,对于需要精确过程控制的行业尤其如此。
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