二手 BRANSON / IPC L3100/3 #197758 待售

IPC L3100/3是一种先进的干式蚀刻器/灰化器,旨在为各种应用程序提供卓越的蚀刻和灰化性能。它与BRANSON专利的IsoGrip™接触技术集成在一起,以获得精确和可重复的结果。该机配备了功率强大的高真空涡轮分子泵，极限真空为10-6至10-7 torr，确保在基板上对薄膜层和结构部件进行深度蚀刻。该L3100/3还与BRANSON/IPC获得专利的IsoGrip环绕式加热器技术集成在一起,可在广泛的工作温度范围内进行精确的温度控制和均匀的加热。这确保了统一的蚀刻过程和优化的过程结果。它还包含一个高吞吐量的载波设备，设计用于处理最多12个载波。这减少了用户处理,并改善了处理时间。该L3100/3配备了功能齐全的集成控制系统,可实现卓越的蚀刻和灰化性能。它可以用多达四个程序步骤和64个独立的可编程配置文件进行编程。这在程序定制和过程优化方面提供了最大的灵活性。它内置的实时诊断和全周期日志记录功能可确保可重复性和过程控制。机器还具有负载锁和修改后的负载锁。载荷锁的设计是为了保持理想的真空环境，样品在装载和卸载的载体。修改后的负载锁有助于防止损坏敏感样品。该L3100/3还配备了酸性磨砂膏和等离子体磨砂膏装置。酸性磨砂机清洁腔室的内表面，而等离子体磨砂机则确保腔壁和边缘的蚀刻。IPC L3100/3是一种坚固可靠的干式蚀刻器/灰化器,旨在提供最佳的蚀刻和灰化性能。其直观的控制和精确的加热技术使其成为先进蚀刻和灰化应用的绝佳选择。