二手 BRANSON / IPC L3200 #9201710 待售
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ID: 9201710
晶圆大小: 6"
Descum plasma asher system, 6"
Dual-chamber
Photoresist stripper combines control capability of single wafer processing
With throughput typical of batch systems
Downstream plasma stripping technology
Low-particulate handling / Processing features
Oxygen-only process ensure high yields
Self-diagnostic
Store up to 26 recipes
Dual-cassette system up to 60 six-inch wafers per hour with minimal particle generation.
BRANSON/IPC L3200是一种全功能蚀刻器/asher,旨在为精密元件的蚀刻和灰化提供尽可能高的质量、精度和精度。IPC L3200利用独特的专有惰性气体喷射设备,实现精确且可重复的蚀刻/灰分循环,并为用户提供统一的高质量精加工。BRANSON L 3200有一个坚固的结构，包括一个闭环流体输送系统，以尽量减少污染，一个先进的气体升压控制，和一个自动隔室功能，以确保最佳的过程控制。该控制单元基于基于Windows的平台，提供了完整的实时过程跟踪和精确的循环参数调整。L 3200具有独特的不触摸可编程蚀刻机，在蚀刻和灰化过程中都提供最高精度。蚀刻工具使用了获得专利的变形机械臂，该臂移动以可靠地、准确地创建每一个蚀刻。Ashing资产融合了最先进的高压流体注入模型，允许快速的热应用、短周期时间以及优越的过程控制和可重复性。BRANSON L3200是一个非常先进的蚀刻器/asher,它在精密元件的蚀刻和粉刷方面提供了最高质量的结果。L3200采用坚固可靠的组件构建,并结合了最新的智能控制系统,以确保一致的高质量性能。先进的蚀刻和灰化系统提供了高精度、精确度和可重复性,可在每个周期上实现一致的高质量精加工。
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